工作原理(lǐ)
應用範圍
產品特點
技術參(cān)數表
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室尺(chǐ)寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵(bèng)機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組(zǔ) | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍(huò)爾離子源 | ||||||
充氣(qì)係統(tǒng) | 壓強控製儀 | ||||||
控製方式 | 手動或半自動 | ||||||
膜(mó)厚監(jiān)控係統 | 石英晶體膜厚監控係統 | ||||||
抽氣速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備(bèi)參數(shù)僅(jǐn)做參考,具(jù)體均(jun1)按客戶實際工(gōng)藝要求設計訂做 |