CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:77583
CJ係列(liè)磁控(kòng)濺射真(zhēn)空鍍膜機的磁控濺射工作原理(lǐ),所謂“濺(jiàn)射”就是用荷能(néng)粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起(qǐ)物體表麵原子從母體中逸出(chū)的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了(le)這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均(jun1)勻電場(chǎng)和對數電場則(zé)分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片(piàn)的過程中與氬原(yuán)子(zǐ)發生碰撞。若(ruò)電子具有(yǒu)足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電(diàn)子,電子飛向基片,Ar+在電場作用(yòng)下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟(hōng)擊(jī)靶表(biǎo)麵,使靶材發生濺(jiàn)射。
廣(guǎng)泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具(jù)、車燈反(fǎn)光罩(zhào)、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍(dù)膜及工模(mó)具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電(diàn)膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠(kào)的鍍製預定厚(hòu)度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著(zhe)力強。部分高能量的濺射原子產生不同程(chéng)度的注入現(xiàn)象,在基片上形(xíng)成一層濺射原子與(yǔ)基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備(bèi)特殊材料的薄膜,可(kě)以使用不同的材料同時濺射製備混(hún)合膜、化合膜(mó),還可(kě)濺(jiàn)射成TiN仿金膜;
4)、膜層純(chún)度高,濺射膜層(céng)中不會混入坩鍋加熱器材料(liào)的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷(lěng)鍍成膜,節能省(shěng)電,提高產能。
CJ係列磁控濺射(shè)真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散(sàn)泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係(xì)統 | 直流或中頻電(diàn)源、鍍膜(mó)輔助(zhù)離子專用電源 |
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質(zhì)量流(liú)量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全(quán)自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以(yǐ)上設備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |