SF係列電子束(shù)蒸發光學真空(kōng)鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24467
SF係列電子束(shù)蒸發光學真空鍍膜機(jī)

工作原理

電子束蒸發是將膜材放(fàng)入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分(fèn)子從(cóng)表麵汽化逸出後入射到基片(piàn)表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸(zhēng)發熱(rè)效(xiào)率高、束(shù)流(liú)密度大、蒸發(fā)速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較(jiào)多的短波通、長波通、增透(tòu)膜、反射膜、濾(lǜ)光(guāng)膜、分光(guāng)膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反(fǎn)射膜等各種膜係,能夠實現(xiàn)0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學(xué)鏡(jìng)頭(tóu)、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電(diàn)子槍和離子源及膜厚儀(yí)可鍍多種膜係,對金屬、氧化物(wù)、化合物及其他(tā)高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍(dù)膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控製,工作效率和產品質量重複性一致性(xìng)優良.
2)適用於(yú)光學領域行業,大規模工(gōng)業(yè)生產要求的廠商使用。

技術參數表

SF係(xì)列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空(kōng)室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)KT500擴散泵機組(zǔ)KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)
鍍膜係統(tǒng)電(diàn)子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自(zì)動
膜厚監控係(xì)統石英晶體膜厚監控係統
抽氣(qì)速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝(yì)要求設計訂做
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