當前(qián)位置:首頁|SF係列電子(zǐ)束蒸發光學真空(kōng)鍍膜機
工作原理
應用範圍
產品特點
技術參數表
SF係(xì)列電子束蒸發光學真空鍍膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空(kōng)室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | KT500擴散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜係統(tǒng) | 電(diàn)子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源 | ||||||
充氣係統 | 壓強控製儀 | ||||||
控製方式 | 手動或半自(zì)動 | ||||||
膜厚監控係(xì)統 | 石英晶體膜厚監控係統 | ||||||
抽氣(qì)速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝(yì)要求設計訂做 |