CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:77576
CJ係列磁控濺射真(zhēn)空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用(yòng)荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中(zhōng)逸出的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁(cí)控濺射靶采用靜止電(diàn)磁場,磁場為曲線(xiàn)形,均勻電場和(hé)對數電場則分別用於平麵靶和同(tóng)軸圓柱靶。電子在電場作用下,加(jiā)速飛向基(jī)片的過(guò)程中(zhōng)與氬原子發生碰撞(zhuàng)。若電子具有足夠的能(néng)量(約為30ev)時(shí),則電離出Ar+並產生(shēng)電子,電子飛向基(jī)片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工(gōng)藝美術(shù)品、玩具、車(chē)燈(dēng)反光罩、手機按鍵(jiàn)外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模(mó)具的功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導(dǎo)電(diàn)膜等(děng)領域有優勢(shì)。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定(dìng)厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料(liào)的薄膜,可(kě)以使用不同(tóng)的材料同時濺射製(zhì)備混合(hé)膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺(jiàn)射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助(zhù)源,無需加熱直接常溫(wēn)冷(lěng)鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜(mó)機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機(jī)組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組(zǔ) |
鍍膜係統(tǒng) | 直流或中(zhōng)頻電源、鍍膜輔助離子專(zhuān)用電源 |
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方(fāng)式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手(shǒu)動或(huò)全自(zì)動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |