CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:77576

CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控濺射真(zhēn)空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用(yòng)荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中(zhōng)逸出的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁(cí)控濺射靶采用靜止電(diàn)磁場,磁場為曲線(xiàn)形,均勻電場和(hé)對數電場則分別用於平麵靶和同(tóng)軸圓柱靶。電子在電場作用下,加(jiā)速飛向基(jī)片的過(guò)程中(zhōng)與氬原子發生碰撞(zhuàng)。若電子具有足夠的能(néng)量(約為30ev)時(shí),則電離出Ar+並產生(shēng)電子,電子飛向基(jī)片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工(gōng)藝美術(shù)品、玩具、車(chē)燈(dēng)反光罩、手機按鍵(jiàn)外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模(mó)具的功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導(dǎo)電(diàn)膜等(děng)領域有優勢(shì)。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定(dìng)厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料(liào)的薄膜,可(kě)以使用不同(tóng)的材料同時濺射製(zhì)備混合(hé)膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺(jiàn)射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助(zhù)源,無需加熱直接常溫(wēn)冷(lěng)鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術參數(shù)表

CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜(mó)機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空(kōng)室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機(jī)組(zǔ)
鍍膜係統(tǒng)直流或中(zhōng)頻電源、鍍膜輔助離子專(zhuān)用電源
充氣(qì)係統質量流量計質量(liàng)流量計質量流量計質量流量計質量(liàng)流量計質量流量計質量流量計
控製方(fāng)式手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自(zì)動手動或(huò)全自動手動或(huò)全自動手(shǒu)動或(huò)全自(zì)動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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