當前(qián)位置:首頁|CJHL係列磁控多弧真空鍍膜機(jī)
工作原理
應用(yòng)範圍
產品特點
技術參數(shù)表
CJHL係列磁控(kòng)多弧真空(kōng)鍍膜機 | |||||||
型號 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空(kōng)室尺(chǐ)寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組(zǔ) |
鍍膜係統 | 直流電源或中頻(pín)電源+多弧鍍膜電源、多功能孿生磁環弧靶+矩形(xíng)平麵靶(bǎ)+圓柱磁控多(duō)弧兩用靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係(xì)統 | 低(dī)溫離子輔助源(除(chú)工(gōng)具鍍外無需(xū)加(jiā)溫係統) | ||||||
充氣係(xì)統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全(quán)自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽氣(qì)速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅(jǐn)做參考,具(jù)體(tǐ)均按客(kè)戶實際工藝要求設計(jì)訂做 |