SF係列電子束蒸發(fā)光學真空鍍膜機

日(rì)期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24476
SF係列電(diàn)子(zǐ)束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子(zǐ)束(shù)蒸發是將膜材(cái)放入水冷銅坩堝中,直(zhí)接利用(yòng)電(diàn)子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出(chū)後入射到基片表麵(miàn)凝結成膜。電子(zǐ)束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄(báo)膜純(chún)度高。

應用範(fàn)圍

光學鍍(dù)膜設備可鍍(dù)製(zhì)層數(shù)較多的短(duǎn)波通、長波通、增透膜、反射膜、濾(lǜ)光膜、分光膜(mó)、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也(yě)能滿足如汽車反光玻璃、、眼(yǎn)鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同(tóng)的蒸發源、電子槍和離子源及膜(mó)厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其(qí)他高熔點膜材皆可蒸(zhēng)鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚(hòu)儀,采用PLC與觸摸屏係統(tǒng)聯合實現對整個工作過程的(de)自動控製,工作效(xiào)率和產品質(zhì)量重複性一致性優良.
2)適用(yòng)於光學領域行業(yè),大規模工業生產(chǎn)要求的廠商使用。

技術(shù)參數(shù)表

SF係(xì)列電子束蒸發光學真空鍍膜機(jī)    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸(zhēng)發源、鍍膜輔助(zhù)離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控(kòng)製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚(hòu)監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限(xiàn)真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設計訂做
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