CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜(mó)機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:77582
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表(biǎo)麵原子從母體中逸(yì)出(chū)的現象。早在(zài)1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電(diàn)磁場(chǎng),磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵(miàn)靶和同(tóng)軸圓柱靶。電子在(zài)電場(chǎng)作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的(de)能(néng)量(約為(wéi)30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加(jiā)速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具(jù)、車(chē)燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀(yí)器儀表、塑(sù)料、玻璃、陶瓷、磁磚等表(biǎo)麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗(tú)層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢(shì)。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠(gòu)可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可(kě)以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層(céng);
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度(dù)的注入現象,在(zài)基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴(kuò)散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射(shè)成TiN仿(fǎng)金膜;
4)、膜層純度高(gāo),濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子(zǐ)輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空(kōng)機(jī)組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散(sàn)泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直(zhí)流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用(yòng)電源 |
充氣係統 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計(jì) | 質量(liàng)流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |