分析真空鍍膜機精密抽(chōu)真空速度慢的原因
作者: 來源: 日期:2020-07-24 23:49:11 人氣:1119
分(fèn)析真空鍍膜機精密抽真空速度(dù)慢(màn)的原因
真空鍍膜機精度抽速慢的(de)原因主要從以下幾個方麵找到:
首先,擴散泵可能(néng)不是很好。
解決方(fāng)法:可以(yǐ)用電離計(jì)測量單擴散泵的泵口,看單擴散泵的抽吸能達到多少,再看抽吸時(shí)間和極限,然後比較。
二、真空係統有輕微漏氣。
解決方法:需慢慢檢(jiǎn)測泄(xiè)漏,看抽真(zhēn)空時間是否能達標。
三、箱子太(tài)髒,太髒的氣體大。
解決方法:清洗紙箱(xiāng)
四、前級真空度不好,機械泵或機械泵(bèng)加羅(luó)茨泵(bèng)的終 極真空度不好。
解決方法:可單獨用電阻計(jì)檢測前管。