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如何掌控真空鍍膜(mó)的(de)均勻性

作者: 來(lái)源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2278
如何掌控真空鍍膜的均勻性
我們先來認(rèn)識下怎麽調試鍍膜機(jī),因為(wéi)掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的(de)抽真(zhēn)空(kōng)速度(dù),在測試(shì)過程中檢查漏氣情況與各真空泵的性(xìng)能;
2、測試(shì)設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小(xiǎo)時看(kàn)壓降是否達標(biāo),同時排除細小的(de)漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能,比(bǐ)如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼續打樣並作測(cè)試。
5、所有的測試(shì)應(yīng)作(zuò)記錄,並有記錄人簽字以及有使用部門或工程部門的人確認簽字

怎麽掌(zhǎng)控真空鍍膜的均(jun1)勻性(xìng)?
由(yóu)於車燈鍍膜(mó)機原理的不同分(fèn)為很多種類(lèi),僅僅因為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡(jìn)相同。並且均勻性這個概念本身也(yě)會隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義,下(xià)麵分(fèn)別說一下:

均勻性主要體現在3方麵:

1、厚度上的均勻(yún)性(xìng),也可以理(lǐ)解(jiě)為粗糙度,在光學薄膜的尺(chǐ)度上看(也就是1/10波長作為單(dān)位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗(cū)糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是(shì)說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障(zhàng)礙。但(dàn)是(shì)如果是指原子(zǐ)層尺度上(shàng)的均勻度,也就是說要實現(xiàn)10A甚至1A的表麵平整,是現在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分(fèn)上的均勻性:就是說在薄膜(mó)中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易的產(chǎn)生不(bú)均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機(jī)過程不科學,那(nà)麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可能是其他的比(bǐ)例,鍍的(de)膜並非是想要的膜的化學成(chéng)分,這(zhè)也是真(zhēn)空鍍膜的技術含量所在。
3、晶格有序(xù)度的均勻(yún)性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的(de)熱點問題。 
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