工作原(yuán)理
應用範圍
產品特點
技術參(cān)數表
HLB係列大型板材管材真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空(kōng)室(shì)尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵(bèng)機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*4套 |
鍍膜係統 | 專用多弧鍍(dù)膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可(kě)選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫(wēn)離子輔助(zhù)源(除工具鍍外無需加(jiā)溫(wēn)係統) | ||||||
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | ||||||
抽氣(qì)速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |