最直接的
鍍膜(mó)控製方法是石英(yīng)晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接(jiē)驅動蒸發源,通過PID控製循環驅動擋板,保持蒸發速率。隻要(yào)將儀器與係統控製軟件相連接,它(tā)就可(kě)以(yǐ)控製整個的鍍膜過程。但是(QCM)的精確度(dù)是有限的,部分原因是由於它監控的是被鍍(dù)膜的質量而不(bú)是其(qí)光學厚度。
此外雖然QCM在較低溫度(dù)下非常穩定,但溫度較高時,它會(huì)變(biàn)得對溫度非(fēi)常敏感。在長時間的加熱過程中,很難阻止傳感(gǎn)器跌入這個(gè)敏感區域,從而(ér)對膜層造成重大誤差。
光學監控(kòng)是
高精密鍍(dù)膜的的首選監控方式,這是因為它(tā)可以(yǐ)更精確地控製膜層厚度(如果運用(yòng)得當)。精確度的改進源於很多因素,但最根本的原(yuán)因是對光學厚度的監控(kòng)。
OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監控係統,是采用間接測控,結合(hé)汪博士開發的先進光學監控軟件,有效提高光學反應對膜厚(hòu)度變化靈敏度的(de)理論和方法(fǎ)來減少終極誤差,提供了反饋或傳輸的選擇模式和大範(fàn)圍(wéi)的監測波長。特別適合於各種膜厚的(de)
鍍膜監控包括非規(guī)整膜監控。