1)、固定筒3 圓筒形狀、大(dà)直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式,可(kě)保證其有足夠的(de)強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染,保證撥動盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸(zhóu)承座2 的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承(chéng)的安裝間距,提高其自身的(de)強度和剛度,保證(zhèng)轉(zhuǎn)動過程(chéng)中軸(zhóu)1 的剛度和撥動盤15的旋轉靈活性、位置(zhì)重(chóng)複的一致性。
3)、裝載換位機構,通過擴大(dà)支承盤16 的直徑,使該機構(gòu)在平(píng)麵方向的有效麵積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調(diào)整,提(tí)高光學薄膜質量;比較片12 由單片(piàn)玻璃作為一個比(bǐ)較片單(dān)元,比較片采用空間立體疊加安(ān)裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次(cì)可放置50~100 片比較片,解決(jué)
鍍膜機鍍(dù)製多層精密(mì)光(guāng)學薄膜,比較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。
4)、定位盤6 與槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分(fèn)的120°狹縫,控製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確(què)的撥片動(dòng)作。
5)、 轉動(dòng)密封饋入機構引入威(wēi)爾遜密封機構5,既保證電機9 通過齒輪齧(niè)合帶動軸1 的靈活轉動,又(yòu)保(bǎo)證真空室對外部的密封作用。優化設計的(de)真空鍍(dù)膜機多片(piàn)式比較片裝置,其特點:(1)結構簡單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝載數量大,生產效率提高,可(kě)鍍製超(chāo)多層精(jīng)密光(guāng)學薄膜;(3)比較片直(zhí)徑增大,提高薄膜(mó)監控的精度,降低對(duì)硬件係統的要求,係統容易實現(xiàn)自動控製;(4)維護保養費用低(dī)。
通過對(duì)真空鍍膜機多片式比較片裝置的優化設計,保證了比較片機構撥片轉動的靈活性和重複的一致性,解決了比較片有效麵積小(xiǎo),光路調整不方(fāng)便,光信號信噪比差的問題,又解決了比較(jiào)片裝載數量少的問題,可以使現有的真空鍍膜機鍍製光(guāng)學薄膜的質量大大提高,並(bìng)且30 層以上的光學薄膜得以鍍製完成。實踐證明此比較片結構是有用的,可以在現(xiàn)代的光學(xué)真空鍍膜行業進行推廣和實施,