為盡(jìn)量減小
真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中(zhōng)間(jiān)層上,其與真空室底壁之間采用點、線、麵活性支撐,以吸收和隔離形變,並設置形變補償調節機構,在係統抽真空前,參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使其在(zài)真空狀態下達到平(píng)衡。而這樣的真空設計也使得現在的真空鍍膜機就能夠讓鍍(dù)膜在真空環境下正常進(jìn)行,防止(zhǐ)外界因素的影響。
而為(wéi)了驗證有限元計(jì)算的結果,對真空室的形(xíng)變和補(bǔ)償進行了(le)測試。首先將四隻千分表定位(wèi)在工作台安裝基點的真空壁外側,當真空室由大(dà)氣抽(chōu)到真空(kōng)時,記錄各千分表的變化量(liàng),經歸一化處理後為用激光自準直儀調整形變補(bǔ)償。由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻璃窗照(zhào)射固定於工作台(tái)上的反射鏡,在大(dà)氣環境下調整形(xíng)變補償調(diào)節機構,使反射光束進入自(zì)準直儀(yí)接收視場,記錄兩維角度偏差。這些(xiē)數據之後需要對其(qí)進行分析處理(lǐ),得到測試(shì)結果(guǒ)。