電阻真空計(jì)(又叫(jiào)皮喇尼真空計):
它主要由電熱絲(sī)、外殼(ké)和支架構成,主要是根據在低壓(yā)下,氣體的熱傳導係(xì)數與壓強成正比的方式工作的(de)。上麵開口處與被測真(zhēn)空係統相(xiàng)連接,熱(rè)絲采用電阻溫度係數大的金屬絲做成,兩支支架引線(xiàn)與測量(liàng)線路連接。當(dāng)壓強降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲(sī)溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強。
磁(cí)控放電真空計: 工作原理:在放電開始時,由於空間遊離電子向陽極(jí)運動時(shí),在正交電磁場作用下,電子(zǐ)的軌跡不是(shì)直線而是螺旋線前進,又因為陽極(jí)是框(kuàng)形,故電子(zǐ)不一定(dìng)第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然後受到對麵陰極的拒斥,又複返回(huí)。這樣反複多次才可能打上陽極。由於電子路程大(dà)大加長,故(gù)碰撞及電離(lí)的分子數增(zēng)加,使得在較低壓強(qiáng)(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號有(yǒu)PKR251、GI-PARY
放電管真空計:
在玻璃管中封入兩個(gè)金屬電極(jí),在其上加上數千伏的(de)直流高電壓,在一定的壓強範圍內(1*10-3~2*10托)內就(jiù)能引起自持放(fàng)電,通(tōng)過放(fàng)電顏色來判定其真空度 。 目前(qián)為止此(cǐ)種真(zhēn)空(kōng)計已經很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且壽命不長(zhǎng)。
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