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真空在鍍膜工業中的應用

作者(zhě): 來源: 日期:2016-04-08 15:03:14 人氣:4521

        真空(kōng)鍍膜技術是真空應用技術的一個重要分(fèn)支,它已廣泛(fàn)地應用於光學、電子學、能源開發,理化儀器、建築(zhù)機械、包裝、民用製品(pǐn)、表麵科學以及科學研究等領域(yù)中。真空鍍膜所采用的方法主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。此外還(hái)有化學氣(qì)相沉積法。如果從真空鍍膜的目的是為了改變(biàn)物質表麵的物理、化學性能的話,這一技術又是真空表麵處理技術中的重要組成部(bù)分,其(qí)分類如表 6 所示。現就其幾個主要應用方麵做一簡單介紹。

        首先在光學方麵,一塊光學玻璃(lí)或石英表麵上鍍一層或(huò)幾層不同物質的薄膜後,即(jí)可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作任何預期比(bǐ)例(lì)的反射(shè)或透射材料,也可以作成對某種波(bō)長(zhǎng)的吸收,而對另一種波長的透射(shè)的(de)濾色片。高反射膜從大口徑的天文望遠鏡(jìng)和各種激光器(qì)開始、一直到新型(xíng)建築物的大窗鍍膜茉莉,都很需要。增(zēng)透膜則大量用於照相和各種激光器開(kāi)始、一直到新型建築物的大窗鍍膜玻璃,都很需要。增(zēng)透膜則大量用於照相機和電(diàn)視攝象機(jī)的鏡頭(tóu)上。

        在電子(zǐ)學方麵真(zhēn)空鍍膜更(gèng)占(zhàn)有極為(wéi)重要的地位。各種規模的繼承電路。包括存貯器、運算器、告(gào)訴邏(luó)輯元件等都要采用(yòng)導電膜、絕(jué)緣膜和保護膜。作為製(zhì)備(bèi)電路(lù)的掩膜(mó)則用到鉻膜。磁帶、磁盤、半導體激光器,約瑟夫遜(xùn)器件、電荷耦合器件( CCD )也都甬(yǒng)道各種薄膜。

        在顯(xiǎn)示器件方麵,錄象磁頭、高密度錄象帶以及平麵顯示裝置的(de)透明(míng)導電膜、攝像管光導膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也(yě)都是采用真空鍍膜法製備。在元件方麵,在(zài)真空中蒸(zhēng)發鎳鉻,鉻或金屬陶瓷可以製造電阻(zǔ),在塑料上蒸發鋁(lǚ)、一氧化矽(guī)、二氧化鈦等可以製造電容器,蒸發硒(xī)可以得到靜電複印機用(yòng)的硒鼓、蒸發(fā)鈦酸鋇可以製造磁致伸(shēn)縮的起聲元(yuán)件等等。真空蒸發還可以用於製造超導(dǎo)膜和慣性(xìng)約束(shù)巨變反應用的微珠鍍(dù)層。此外(wài)還可以對珠寶、鍾表外(wài)殼表麵、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸(zhēng)鍍裝飾用薄膜(mó),以及采用(yòng)濺射鍍或離子鍍對(duì)刀具、模具等製造超(chāo)硬膜。近兩年內(nèi)所興起的(de)多弧離子鍍製備鈦金製品,如(rú)不鏽鋼薄板、鏡麵(miàn)板、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄杆等目前正在盛行(háng)。

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