1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次（cì）。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室（shì）內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接（jiē）觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後膜層脫落，並釋放出氫氣。再用清水清洗（xǐ）真空室和用布沾汽油清（qīng）洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片（piàn）泵)連續工作（zuò）一個月(雨季減（jiǎn）半)，需更換新油。方法是:擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使（shǐ）泵內的舊油完全排（pái）放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連（lián）續使（shǐ）用半（bàn）年以上，換油時應將油蓋打（dǎ）開，用（yòng）布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散（sàn）泵連續使用（yòng）6個月以上，抽速明顯（xiǎn）變（biàn）慢，或操作失當，充入大（dà）氣，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽（qì）油將（jiāng）泵腔及（jí）泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清（qīng）水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹以後，裝好泵膽，加入新擴散泵油（yóu），並裝（zhuāng）回機體，接好水管，裝好電（diàn）爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵，關好大門，數分（fèn）鍾後，觀察（chá）擴散泵部分真空度是否達到6X10帕（pà），否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則（zé）擴散泵油會燒環，無法進入工作狀態。

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