真空電鍍設備膜厚的不均勻問題
作者: 來(lái)源: 日(rì)期:2017-10-25 16:07:52 人氣:4695
無論監控儀精度(dù)怎樣,它也隻能控製真(zhēn)空室裏單點位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。如果(guǒ)真空(kōng)電鍍設備此位置(zhì)的(de)膜厚不是絕對均勻的,那麽遠離中心位置的基片就(jiù)無法得到均勻的厚(hòu)度。雖然屏蔽罩能消除(chú)表(biǎo)現為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發源的不穩定或膜材的不同表現而引(yǐn)起的,所以幾乎是(shì)不可能(néng)消除的,但對真空室的結構(gòu)和(hé)蒸(zhēng)發源的(de)恰當選擇(zé)可以(yǐ)使這(zhè)些影響最(zuì)小化。
在過去幾年中(zhōng),越來越多(duō)的用戶要求鍍膜係統製造廠家提供(gòng)高性能的小規格、簡便(biàn)型光(guāng)學鍍膜係統,同時,用戶(hù)對性能的要求不僅(jǐn)沒有降低,反而有所提高,特別是在薄膜密(mì)度和保(bǎo)證(zhèng)吸水後光譜變化最小化等方麵。
現在,係統的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格設備進行(háng)光學鍍膜(mó)的生(shēng)產也(yě)已經轉變(biàn)成(chéng)為純技(jì)術問題。因此,選用現代化光學鍍膜係統的關鍵取決於對(duì)以下因素的認(rèn)真考慮(lǜ):對鍍膜產品的預(yù)期性(xìng)能,基片的尺寸大小和物理(lǐ)特性以及保證高度一致性工藝所必需的所有技術因素。