真空鍍膜機各部件以及原理分析
作者: 來源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣:34597
真空鍍膜機的真空腔體----根據加工產品要(yào)求的差異,真空腔體大小也不一樣,目前應用比較多的(de)有(yǒu)直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由不鏽鋼材料製(zhì)作,要求(qiú)不生鏽、堅實,真空腔體各部分有鏈接閥,用來鏈接(jiē)各抽氣泵浦。
真空鍍膜機的輔助抽氣係統:排氣係統為(wéi)鍍膜真空係統的重要(yào)組成部分,機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散(sàn)泵(bèng)三大部分組成。這個排氣係統為:擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold。排氣流程:機械泵先將(jiāng)真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真(zhēn)空狀態(tài),為擴散泵後續抽真空(kōng)提(tí)供(gòng)前提,之後當擴散(sàn)泵抽真空的(de)時候,機(jī)械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣(qì)動作。
真空鍍膜機的機械原理以及(jí)其分類(lèi):
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用很廣的一種低真(zhēn)空(kōng)泵,它是(shì)用油來保持密封(fēng)效果並依靠(kào)機械(xiè)的方法不斷的改變泵內吸氣空腔(qiāng)的(de)體積,使被抽(chōu)容器內氣體體積不斷膨脹從而獲得真(zhēn)空。
一.機械(xiè)泵的分(fèn)類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(主要用於大型設備(bèi)),活塞往複式(shì),定片式和旋片式(此目前運用很廣)
二.機械泵是從(cóng)大氣開始工作的,它(tā)的主要參數有極限(xiàn)真空、抽(chōu)氣(qì)速率、此(cǐ)為設計和選用機械泵的重要依據,單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級泵可以將容器(qì)從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至更高。抽氣(qì)速率是指(zhǐ)旋片(piàn)泵,按額定轉速運轉時(shí),單位時間內所能排出氣體的體積,可用公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示(shì)吸氣結束時空(kōng)腔(qiāng)截麵(miàn)積,L表示空腔長度,係(xì)數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內(nèi)的(de)體(tǐ)積較(jiào)大,轉數為n。機械(xiè)泵排氣的效果還與電機的轉數以及皮帶的鬆緊度有關,當電機的皮帶比較鬆(sōng),電機轉數很慢的時候,機械泵的排氣效果(guǒ)也會變差,所以要經常保養,點檢,機械泵(bèng)的密封(fēng)效果也需要經常點檢,由過少,達不(bú)到密封效果,泵內會漏(lòu)氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般在油位線下(xià)0.5厘(lí)米即可。
三(sān).機(jī)械泵常常被(bèi)用來抽除(chú)幹燥的空氣,但不能抽(chōu)除含氧量過高、有爆炸和(hé)腐蝕性的氣體(tǐ),機械泵一般被用來抽除長久性的氣體(tǐ),但是對水氣沒有好的效果(guǒ),所(suǒ)以它不能抽除水(shuǐ)氣。旋(xuán)葉泵中起主要作用的部(bù)件(jiàn)是(shì)定子(zǐ)、轉子、彈片等,轉子在定(dìng)子裏麵但與定(dìng)子不同心(xīn)軸,像兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩片彈片中間裝有彈簧,保證(zhèng)了彈片緊(jǐn)緊貼在定子的內壁。