通俗的定義為在正常狀況下，其應用功能（néng）不會失效。

想要達到這（zhè）個目的，一般而言這層薄膜必須具有堅牢（láo）的附著力、很（hěn）低的內應（yīng）力、針孔密度很少、夠強的機械性能、均勻的（de）膜厚、以及足夠的（de）抗化學侵（qīn）蝕性。

薄膜的特性主要受到（dào）沉積過程、成膜條件、接口（kǒu）層的形成和基材的影（yǐng）響，隨後的熱處理亦扮演（yǎn）重要角色（sè）。 

沉積（jī）的薄（báo）膜有內應力的存在，其來源為何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄（báo）膜和基材之間（jiān）的熱膨脹係數差異 

晶界之間的互擠