低真空的獲得（dé）  

獲得低真空常采用機械泵，機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽（chōu）容器內氣體的（de）體積不（bú）斷膨脹，從而獲得（dé）真空的裝置。

它可以直接在大氣壓下開始工作，極（jí）限真空度（dù）一般為（wéi）1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速（sù）率與轉速及空腔體積V的大小有關，一般在每秒幾升到每秒幾十（shí）升（shēng）之間。

高真（zhēn）空的獲得 

目前，廣泛使用的獲得高真空的泵（bèng）就是擴散泵。擴散泵（bèng）是利用氣體（tǐ）擴散現象來（lái）抽氣的，它不能直接在大氣壓下工（gōng）作，而需要一定的預（yù）備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散（sàn）泵（bèng）的極限（xiàn）真空度（dù）主（zhǔ）要取決於油蒸（zhēng）汽壓和氣體分子的反擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率（lǜ）與結構相關，每秒幾升--幾百升不等。