質量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀（yí）表，

其測量值不因（yīn）溫度或（huò）壓力的波動而失準，不需要（yào）溫度壓力補償。

質量流量（liàng）控製器，即Mass flow controller(縮（suō）寫為MFC），不（bú）但（dàn）具有質量流量計的（de）功（gōng）能，

更重要的是，它能自動控製氣體流量（liàng），即用戶（hù）可根（gēn）據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，

即使係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定（dìng）值。

簡單地說（shuō），質量（liàng）流量控製器（qì）就是一個穩定裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯接自動（dòng）控製的氣（qì）體穩流裝置。