對於(yú)真空鍍膜機設備的分類,到底了解多少?
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜設備,包括真(zhēn)空離子蒸發鍍膜機、磁控(kòng)濺鍍(dù)膜機射、
MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉(chén)積鍍膜機(jī)等很多種。
主要(yào)是分成蒸發和濺射兩種。
在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。
基片與靶材同(tóng)在真(zhēn)空腔中。
蒸發鍍膜一般(bān)是加熱靶材使表麵組分(fèn)以原子團或離子形式被蒸發出來,並且沉降在基片表麵,通過成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜機對於濺射類鍍膜,可以(yǐ)簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組分以原子團或離子形式被濺射出來,
並且最終沉積在基片表(biǎo)麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組(zǔ)合製成的雙層水冷結(jié)構。
根據工藝要求(qiú)選擇不同規格及類型鍍膜設備,其(qí)類型有電(diàn)阻蒸發真空鍍膜設備、電子束蒸發真空鍍膜設備、
磁控濺射真(zhēn)空(kōng)鍍膜設備、離(lí)子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空(kōng)鍍膜設備、空心(xīn)陰極離子鍍和多弧離子鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶(hù)可根據片尺寸(cùn)及形狀提出相應要求,轉(zhuǎn)動的速度範圍(wéi)及(jí)轉動(dòng)精度:普(pǔ)通可調及變頻調速(sù)等。