真空蒸鍍、濺鍍(dù)、離子鍍
真空鍍主要包括真空蒸鍍、濺射(shè)鍍和(hé)離(lí)子鍍幾(jǐ)種類型,它們都是采用在真空條件(jiàn)下,通過蒸餾或濺射等方式在塑件(jiàn)表麵沉積各種金屬和非金屬薄膜,通過這樣的方式可以得到非常薄的表麵鍍層,同時具有速度快附著(zhe)力好的突出優點,但是價格也較高,可以進行操作(zuò)的金屬類(lèi)型較少,一般(bān)用來作較高檔產(chǎn)品的功(gōng)能性鍍層。
真空蒸鍍法(fǎ)是在高真空下為(wéi)金屬加熱,使其熔融、蒸發,冷卻後在樣品(pǐn)表麵形成金屬薄膜的方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵(miàn)的(de)微小凹凸部分(fèn)填平,以獲得如鏡麵一樣的表(biǎo)麵,無任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍(dù),還是對密接(jiē)性(xìng)較低的奪鋼(gāng)進行(háng)真(zhēn)空蒸鍍(dù)時,都必須進行底麵塗布處理。
濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫濺(jiàn)鍍法。該工藝要求(qiú)真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣(qì)體氬氣(Ar),並在塑膠(jiāo)基材(陽極)和金屬(shǔ)靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子激(jī)發惰性氣體,產生等離子體,等離子體將金屬靶材的原子轟出,沉積在塑(sù)膠基材上。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導電的陶磁材料(liào)則使用RF交流濺鍍。
離子鍍是在真空條件(jiàn)下(xià),利用氣體放電使氣體或被蒸發物質部分電離,並在氣體(tǐ)離子或被蒸發物質離子(zǐ)的(de)轟擊下,將蒸發物質或其反應物沉積在基片上的方法。其中包括磁控濺射離子鍍、反應離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極(jí)蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰(yīn)極電弧(hú)離子鍍)等(děng)。