磁控濺射膜（mó）常見故障的排除

膜層灰暗及發黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬（yà）氣（qì）純度低於 99．9％。應換用純度為 99．99％的氬氣。

(3)充氣係統漏（lòu）氣。應檢查充氣係統，排除漏氣現象。

(4)底漆（qī）未充分固化。應適當延長底漆的固化時間。

(5)鍍件放氣量太（tài）大。應進行幹燥和封孔處理（lǐ） 膜層表麵光澤暗淡

(1)底漆固化不良或變質。應適當延長底漆的固（gù）化時間或（huò）更換底漆。

(2)濺（jiàn）射時間（jiān）太（tài）長。應適當縮短。

(3)濺射成（chéng）膜（mó）速度太（tài）快。應適當降低濺射電流或電壓

膜層色澤不均

(1)底漆噴塗得（dé）不均勻。應（yīng）改進底漆的施塗方法。

(2)膜層太薄。應適當提高（gāo）濺射速度（dù）或延長（zhǎng）濺射時間。

(3)夾具設（shè）計不合理。應改進夾具設計。

(4)鍍件（jiàn）的幾何形狀太複（fù）雜。應適當（dāng）提高鍍件的旋轉速度

膜層發皺、龜（guī）裂

(1)底（dǐ）漆噴塗得太厚。應控製在 7—lOtan 厚度範圍內（nèi）。

(2)塗料的粘度太高。應適當降低。

(3)蒸發速度太（tài）快。應適當減慢（màn）。

(4)膜層太厚。應適當縮短濺（jiàn）射時間。

(5)鍍件溫度太高。應（yīng）適當縮短對鍍件的加（jiā）溫時間

膜層表麵有（yǒu）水跡、指紋及灰粒

(1)鍍件清洗後未（wèi）充分幹燥。應加強鍍（dù）前處理。

(2)鍍件表麵濺上水珠或唾液。應加強文明生產，操作者應（yīng）帶口罩。

(3)塗底漆（qī）後手（shǒu）接觸過鍍件，表麵留下指紋。應嚴禁（jìn）用手接觸鍍（dù）件表麵（miàn）。

(4)塗（tú）料中有顆粒物。應過濾塗料或更換塗料。

(5)靜電除塵失效或噴塗和固化環（huán）境中有顆粒灰塵。應更換除塵器，並保持工（gōng）作環境的清潔

膜層附著力不良

(1)鍍件除油脫脂不徹（chè）底。應加強鍍前處（chù）理。

(2)真空室內不清潔。應清洗真空室。值得注意的是（shì），在（zài）裝靶和拆（chāi）靶的過程中，嚴禁用手（shǒu） 或不幹淨的物體與磁控源（yuán）接觸（chù），以保證磁（cí）控源具有較高的清潔度，這是提高膜層結合力的 要措施之一。

(3)夾具不清潔（jié）。應清洗夾具。

(4)底塗料選用不當。應更換塗料。

(5)濺射工藝條件（jiàn）控製不當。應改進濺射工（gōng）藝條件