真空鍍膜（mó）機主要指一類需要（yào）在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積（jī）等（děng）很多種。主要思路是分成（chéng）蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製（zhì）作真空條件應用最為廣泛的設備，對（duì）其操作程序的了解是至（zhì）關重要的環節，在真空鍍膜機的具體操作過程中建議參照以下標注說明：

        一（yī）、 檢查（chá）真（zhēn）空（kōng）鍍（dù）膜機各操作控製開關是否在"關"位置。

        二、打（dǎ）開總電源開（kāi）關，設備送電（diàn）。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢（wū）螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保（bǎo）證無（wú）任何雜質汙物。

        五、落下鍾罩（zhào）。

        六（liù）、啟動抽真空機械泵。

        七、開複合（hé）真空計電源(複合（hé）真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置（zhì）。

               2）低真（zhēn）空表"2"內指針順時針移動，當指（zhǐ）針移動至（zhì）110mA時，左旋鈕（niǔ）"1"旋轉至指向2區段測（cè）量位置。

        八、當低真空表"2"內（nèi）指針再次順時針移動至（zhì）6.7Pa時，低壓閥推入（rù）。這時（shí）左旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        九、 真空鍍（dù）膜機開通冷卻（què）水，啟動擴（kuò）散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉（lā）出。重複一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉至（zhì）指向（xiàng）2區段測量位置。低真（zhēn）空表（biǎo）"2"內指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆順時（shí）針旋轉)。

        十一、等低（dī）真空表（biǎo）"2"內指針右移動至0.1Pa時，開（kāi）規管燈絲開關。

                1）發射、零點測量（liàng）鈕"9"旋轉至指向發（fā）射位置。

                2）左（zuǒ）下旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射（shè）調節鈕"4"，使高壓真空（kōng）表"5"內指針指（zhǐ）向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋（xuán）轉至指向（xiàng）測量位置（zhì）。

        十六、旋轉標準調節鈕（niǔ）"3"，讓（ràng）高（gāo）壓真空表"5"內指針指向（xiàng）10。

        十七、旋轉"倍加器"開（kāi）關鈕（niǔ）"8"至指向10-12，當高壓真空表（biǎo）"5"內指針逆時針左移超過1時，再把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空（kōng）表（biǎo）"5"內指針逆時針（zhēn）移動超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件（jiàn）PVDF膜轉動。

        十（shí）九、開蒸發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電（diàn）極（jí）分配孔內(設（shè）有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二（èr）十（shí）、 右手（shǒu）旋轉右側調壓器手輪（lún），慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子（zǐ）的加熱溫（wēn）度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加（jiā）熱子顏色（sè）變成黃橙（chéng）色，鋁絲開始熔化（huà）時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全（quán）部熔化蒸發，擋板回原位（wèi）。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成（chéng）。

        二十一、 如果再（zài）想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流（liú）分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重複⑳操作動作。

        二十二、 關（guān）閉規管燈絲開關。關閉高壓閥（fá）(逆（nì）時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發（fā）。旋轉機械泵鈕至指向擴散（sàn）泵位置。

        二十三、 低壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有（yǒu）氣.聲時，升鍾（zhōng）罩。

        二十四、鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一麵向下 (原下麵已鍍一層鋁膜麵向上)。緊固在轉動圓盤上。

        二十（shí）五、 落鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕（niǔ）"1"旋轉至指向2區段測量位置 。

                    2）當低壓真空表"2"內指（zhǐ）針順時針移動到6.7Pa時（shí），低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置（zhì）。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十六、 正常生產中，如（rú）遇到突然停電時（shí），要立即切斷高真空測量，關閉規管燈絲（sī），高壓（yā）閥、低壓閥拉出（chū）。來電後（hòu），先（xiān）讓機械泵啟動工作（zuò）3~5min後，再（zài）轉入正常生產。