排氣係統(tǒng)為鍍膜機真(zhēn)空係統的重要部分,主要有由(yóu)機械泵、增壓泵(主(zhǔ)要(yào)介紹羅茨泵)、油擴散泵三大(dà)部分組成。今天
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機械泵是應用最(zuì)廣泛的一種低真空泵,它(tā)是(shì)用油來保持密封效果(guǒ)並(bìng)依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣(qì)空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。 機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用於大(dà)型設備)、活塞(sāi)往複式(shì)、定片式和旋片式(shì)四種類型。 機械泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除(chú)含氧量過高、有爆(bào)炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一(yī)般被(bèi)用來抽除(chú)永久性(xìng)的氣體,但是對水氣沒有(yǒu)好的效果,所以它不能抽除水(shuǐ)氣。旋片泵中起主要作用的部(bù)件是定子(zǐ)、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸,象(xiàng)兩個內切圓,轉子槽內裝有(yǒu)兩片彈片,兩彈(dàn)片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。
它的兩個(gè)彈片交替起著兩方麵的作用,一方麵從(cóng)進(jìn)氣口吸進氣體,另一方麵壓縮已(yǐ)經吸進的氣體,將氣體排出泵外。轉子每旋轉(zhuǎn)一周,泵完成兩次吸氣和(hé)兩次排氣。當泵連續順時針轉動時,旋片泵不斷的通過進氣口(kǒu)吸入氣體,又從排氣口不斷的排出泵外,實現對(duì)容(róng)器抽氣的目(mù)的。為了提高泵的極限真空度,均將泵的定子浸在油裏麵這樣,在各處的間隙中及有害空間裏麵經常保持足夠的油,把(bǎ)空隙(xì)填滿,所(suǒ)以油(yóu)一方麵起到了(le)潤(rùn)滑作用,另一方麵(miàn)又起(qǐ)了密封和堵塞(sāi)縫隙及有害空間的作用,防止氣體分(fèn)子通過各種渠道反流到壓強低的空(kōng)間去。
機械泵是從(cóng)大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣(qì)抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙(shuāng)級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速(sù)率,是指旋(xuán)片(piàn)泵按額定(dìng)轉數運轉時,單位時間內所能排(pái)出氣體(tǐ)的體(tǐ)積,可以用下公式計(jì)算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結束時(shí)空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處(chù)於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔(qiāng)內的體積(jī)最(zuì)大,轉速為n。
機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶(dài)的鬆(sōng)緊度有關(guān)係,當電機的皮(pí)帶比較鬆,電機轉速很慢的(de)時候,機(jī)械泵的排氣效果也會變差,所以要經(jīng)常保養,點檢,機械泵油的密封效果(guǒ)也需要常(cháng)常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在(zài)油位在線下0.5厘(lí)米即可。