油擴散（sàn）泵的應用壓強範圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體（tǐ）的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高可（kě）以達到10+5升（shēng）/秒（miǎo））等（děng）特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導（dǎo）流（liú）管和加熱器組成，裏麵主（zhǔ）要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。 

        擴散泵底部內儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械泵（bèng）充當（dāng）前置泵。 

        當擴（kuò）散泵（bèng）的油被電爐加熱時，產生的油蒸汽提供前置壓強，機（jī）械泵充當前（qián）置（zhì）泵（bèng）。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流管（guǎn）經傘形噴嘴向下噴出（chū）。因噴嘴外麵有機械泵提供的1-10-1帕的真空（kōng），故油蒸汽可（kě）噴出一段距離，構成（chéng）一個向出氣口方向運動的射流。射流最後碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為（wéi）液體，流回蒸發器，即（jí）靠油的蒸（zhēng）發——噴射——凝結（jié），重複循環來實現抽氣的。 

         由進氣口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下（xià）運動的動量，向下飛去，由於射流具有高的流速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且（qiě）擴散泵油（yóu）具有（yǒu）高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界麵內，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界麵，擴散進入射流中，被帶往出口處，在出口處再由機（jī）械泵（bèng）抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是決定泵（bèng）的極限真（zhēn）空的重（chóng）要因素，因此（cǐ）盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其（qí）化學特性要好。 

         擴散泵不能單獨用來抽氣（qì），一般（bān）要求（qiú）泵的最大出口壓強為40帕。擴散（sàn）泵（bèng）的抽速決定於（yú）第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間環形麵積的大小（xiǎo），抽速不是一恒定的值，而是隨著進氣口的壓強而變（biàn）化的，當壓強在10-2～10-3帕（pà）的時候，擴散泵的抽氣速度是最快的，當壓強小於5*10-4帕之後（hòu），擴散泵的抽（chōu）氣速度最小（xiǎo），幾乎（hū）沒有抽氣能力（此時，進氣口的壓強較高，由（yóu）於（yú）空氣的密度較大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻擋空氣（qì）的反擴散，所以抽速下降（jiàng））。 

        擴散泵在安裝前要清（qīng）洗，之後才可以裝入擴（kuò）散油，油在加熱前，必須要（yào）先對泵抽真空，停機前要先將擴散泵油冷卻到60～70攝氏度，才可以關閉前（qián）級抽氣，最後關冷卻（què）水。 

       由於油擴散（sàn）泵（bèng）是無法杜絕（jué）有返油的（de）幾（jǐ）率，那麽沒有辦法保證精密產品的100％純淨，特別是半導體行業，所以就（jiù）有“高真空冷凝泵＋低真空機械泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統不僅排氣效率極高，而（ér）且有效保證真空腔的清潔，保證產品的質量（避（bì）免產品被汙染、增強膜層（céng）與基板之間的附著力），但是其維護成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛。 

        昆山芭乐视频ios真（zhēn）空技術工程有限公司（sī）是一家專業研究製造生產真空鍍膜設備及其它（tā）真空相關（guān）設備的（de）國家高新科技企業。公司本著“專注研（yán）究鍍膜工藝（yì），提供最優（yōu）質的產品及服務”的（de）理念，贏得國內外客戶的滿意及信任，並（bìng）成功打開國外市場。我們將會秉承客戶的認可，將鍍膜機研發事業推向新的高峰。我公司（sī）期待（dài）廣大國內（nèi）外新老顧客前來視察、選購！

下一個：真空鍍膜機器幾種常用的真空計