真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備(bèi),一般用(yòng)真空室、真空機組、電氣控製櫃(guì)三大部分組成,排氣(qì)係統采用擴散泵+機械泵+羅茨泵+低(dī)溫冷阱+polycold組(zǔ)成。
下麵(miàn),詳細介紹真(zhēn)空鍍膜機(jī)的各(gè)部分組成及其工作原理:
1、真空主體:真空腔根據(jù)加工產品要(yào)求(qiú)的各異,真空腔的大小也不一樣,目(mù)前應用最多(duō)的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材(cái)料(liào)製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有(yǒu)連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
2、輔助抽氣(qì)係統:排氣係統為(wéi)鍍(dù)膜(mó)機真(zhēn)空係(xì)統的重要部(bù)分,主要有由機械泵、增壓泵(主(zhǔ)要(yào)介紹羅茨泵)、油擴散泵(bèng)三大部分組成。此排氣係統采用"擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold"組(zǔ)成(chéng)。排氣流(liú)程(chéng)為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真(zhēn)空提供前提,之後(hòu)當擴散(sàn)泵抽真空腔的時候(hòu),機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣(qì)動作。
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