真空鍍（dù）膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般用真（zhēn）空室、真空機組、電氣控製櫃三大工（gōng）作原理。

真空主題--真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣（yàng），目前應用最多的有直徑（jìng）0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體（tǐ）由不鏽鋼材料製作，要求不生（shēng）鏽、堅（jiān）實等，真空腔各部分有鏈接閥（fá），用來鏈接各（gè）抽（chōu）氣泵浦。

輔助抽氣係統：排氣（qì）係統為鍍膜機真空係統的重要部（bù）分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成，此排氣係統（tǒng）采用“擴散泵+機械泵+羅（luó）茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程為：機械泵先將真空（kōng）腔抽（chōu）至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散泵後續抽真空提供前提（tí），之後當擴散泵抽真空（kōng）的時（shí）候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，已這樣（yàng）的方式完成抽氣動作。

 機械泵：也（yě）叫前級泵，機械泵（bèng）是應用最廣泛（fàn）的一種低（dī）真空泵，它是用油來保持密（mì）封效果並依靠機械的方法不斷的改變（biàn）泵內吸氣空腔的體（tǐ）積（jī），使被（bèi）抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。