微信掃一掃 關注（zhù）浦（pǔ）元最新動態！等離子（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第四種物質狀態，主要是由氣體在高電磁場作用下發生解離，形成一種包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基和中性氣體分子（zǐ）組成的高活性（xìng）物質，通產情況下會發光。
一般情（qíng）況下，等離子中的正（zhèng）電荷數等於負（fù）電荷數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活（huó）中見到的閃（shǎn）電、日光燈、霓虹燈就是等離（lí）子（zǐ）體發光現象。
等離（lí）子的產生有很多種方法，但生成（chéng）和維持都需要外部（bù）能量的輸入。
電子從外（wài）加電磁場獲得能量，然後發生非（fēi）彈性碰撞產（chǎn）生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子（zǐ）、分子、離子等物質，然而在解離碰撞中，電（diàn）子可能與氣體離子有再結合作用，或（huò）者因為（wéi）漂移及擴散而離開電磁場範圍等原因消失，因（yīn）此當電子產生與消失的速（sù）率相等時，此時的plasma即為穩定狀態。這裏列舉四種ETCH常用產生plasma的方法（fǎ），後麵會詳解介紹。
三、等（děng）離子體的參數 plasma parameters
平均自（zì）由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與（yǔ）粒子碰（pèng）撞前能夠（gòu）移動的平（píng）均距離。MFP與環境壓力P呈反比，壓力越高，MFP越短，壓力約低，MFP越（yuè）長，這就是為什麽plasma產生要在低（dī）壓近似真空環境下產生，因為在大氣（qì）壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得足夠（gòu）的能力來使用氣體離子化。