磁控濺射鍍膜是現代(dài)工業中(zhōng)不可缺少的技術之(zhī)一,磁控濺射鍍膜技(jì)術正廣泛應用於透明導電膜、光學膜、超硬膜、
抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反(fǎn)膜以及各種裝飾膜,在(zài)國防和國民經(jīng)濟生產中的作用(yòng)和地位日益強大。
磁(cí)控濺射技術發展(zhǎn)過程中各(gè)項技術的突破一般集中在等離子體的產生以及(jí)對等離子體(tǐ)進行的控製等方麵。
通過對電磁(cí)場、溫度場和空間不同(tóng)種類粒子分布參數的控製,使膜層質量和屬性滿足各行業的要求。
膜厚均勻性與磁控濺射靶的工(gōng)作狀(zhuàng)態息息相關(guān),如(rú)靶的刻蝕狀態(tài),靶的電磁場設(shè)計等,
因此,為保證膜厚均勻性,國外的薄膜製備(bèi)公司或(huò)鍍膜設備製造公司都有各自的關(guān)於鍍膜設備(包括核心(xīn)部件“靶”)的整套設計方案。