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磁控濺射膜厚均勻性設計方法

作(zuò)者: 來源(yuán): 日期:2020-11-09 10:56:38 人氣(qì):20752

磁控濺射鍍膜是現代(dài)工業中(zhōng)不可缺少的技術之(zhī)一,磁控濺射鍍膜技(jì)術正廣泛應用於透明導電膜、光學膜、超硬膜、

抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反(fǎn)膜以及各種裝飾膜,在(zài)國防和國民經(jīng)濟生產中的作用(yòng)和地位日益強大。


鍍膜工藝中的薄膜厚度均勻性,沉積速率,靶材利用率等(děng)方麵的問題是實際生產中(zhōng)十分關注的。
解決這些實際問題的方法是對涉及濺射沉積過程的(de)全(quán)部因素進(jìn)行整體的(de)優化設計,建立一(yī)個濺射鍍膜的綜合設計係(xì)統。
薄膜厚度均勻性是檢驗濺(jiàn)射沉積過程的最重要參數之一,因此對膜厚均勻性綜合設計的研究具(jù)有重要的理論和應用價值。

磁(cí)控濺射技術發展(zhǎn)過程中各(gè)項技術的突破一般集中在等離子體的產生以及(jí)對等離子體(tǐ)進行的控製等方麵。

通過對電磁(cí)場、溫度場和空間不同(tóng)種類粒子分布參數的控製,使膜層質量和屬性滿足各行業的要求。


膜厚均勻性與磁控濺射靶的工(gōng)作狀(zhuàng)態息息相關(guān),如(rú)靶的刻蝕狀態(tài),靶的電磁場設(shè)計等,

因此,為保證膜厚均勻性,國外的薄膜製備(bèi)公司或(huò)鍍膜設備製造公司都有各自的關(guān)於鍍膜設備(包括核心(xīn)部件“靶”)的整套設計方案。

上(shàng)一(yī)個:現代真空鍍膜機膜厚的測量及監控方法
下一(yī)個:真空鍍膜設備氣體分布
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