PVD是(shì)物理氣相沉積的(de)縮寫。物理氣相沉積描述了各種真空沉積方法,其可廣泛用於在諸如塑料(liào),玻璃,金屬,陶瓷等的不同基底上(shàng)生產薄膜和塗層. PVD的特征(zhēng)在(zài)於其中材(cái)料從固態到氣態,然後回到(dào)薄膜固態。最常(cháng)見的PVD工藝是離子,濺射,電子束和蒸發。 PVD用於製造需要用(yòng)於機械,光學,化學或電子功能的薄膜的物品。
工業常見PVD塗層如Cu,Al,Cr,Au,Ni的純金屬(shǔ)膜,和TiN,TiC,TiCN,TiAlN,ZrN,CrN,CrSiN,ZrTiCN,TiAlCN,ZrC,TiALN,DLC等複合膜。
常(cháng)見PVD真空鍍膜機:
陰極電弧離子PVD真空鍍(dù)膜機:靶材(cái)在放電的高(gāo)功率電(diàn)弧作用下將其上物質噴射沉積在工件上。
電子束PVD真空鍍膜機:待沉積的材料,在“高”真(zhēn)空中的電子轟擊中,冷(lěng)凝沉積在工件上。
蒸發PVD真空鍍膜機:待沉積的材料,在“高”真(zhēn)空中,通過電阻加熱,冷凝沉積在工件上。
磁控濺射PVD真空鍍膜機(jī):發出輝光(guāng)等離子體放電(通常通過磁體定位在“靶(bǎ)”周圍),材料濺射沉積在工件(jiàn)上(shàng)。